Product 주식회사 티앤씨

페이지 정보

Qtz RING

Qtz RING

본문

  • 소재

  • Quartz

  • 용도

  • 반도체 공정 내에서 WAFER 고정, ELECTRODE 보호, ESC 보호, CHAMBER 보호 역할을 수행

  • 장점

  • -플라즈마 내성: CF₄, SF₆, Cl₂ 플라즈마에 대한 저항성이 뛰어나고 부식이 적음.
    -고온 내성: 1200도이상의 고온의 공정에서 변형이 없이 사용이 가능.
    -전기적 절연체: 비전도성 소재로서 전기적 간섭을 최소화.
    -저오염성: 불순물이 적어 반도체 제조시 오염을 최소화.
    -높은 투과율: 자외선(UV) 및 특정 가시광선을 잘 투과하여 플라즈마를 안정적으로 형성하는 데 도움.

다른 제품